先端半導体向けEUV露光装置の大幅な省エネ実現 沖縄科技大

人工知能（AI）など大量の情報処理が求められる先端半導体の製造に欠かせない「EUVリソグラフィー（極端紫外線露光装置）」の大幅な省エネやコスト削減を図る技術を、沖縄科学技術大学院大学（OIST）の新竹積教授（物理工学）が開発した。装置で使用する反射鏡を従来の10枚から4枚に減らし、消費電力を10分の1に抑えた。実用化できれば1社独占の技術に一石を投じ、先端半導体製造分野で日本勢が巻き返す可能性も秘めているという。

　先端半導体は、AIのサーバーやスマートフォン、パソコンのメモリなどに使われる小型のチップ。高密度の論理回路をシリコンウエハー上に書き込む必要があり、EUV露光装置を使う。従来はEUV光

源から出た波長の短い光を10枚の鏡に反射させながら、フォトマスクと呼ばれる原版の回路パターンを、プロジェクターを使って1辺10ミリメートルのシリコンウエハーに転写している。オランダの半導体製造装置大手ASMLホールディングだけがこの技術を持っており、各半導体メーカーに独占販売する状況が続く。

　ただ、鏡は1回反射するごとにEUVのエネルギーが40パーセント減衰するため、10枚の鏡を通過して最終的にシリコンウエハーに届くのは1パーセントにとどまる。炭酸ガスのレーザーでプラズマを発生させて、必要なEUV光を作るためには、1000キロワットという大量の電力消費が必要で、冷却水の量も膨大となる。鏡は希少金属のモリブデンとシリコンからできているため、設備投資もかかる。精密機械や半導体を作る大手グローバル企業からは「工場での電気代が高すぎる」など不満の声が上がっていた。
https://scienceportal.jst.go.jp/newsflash/20240813_n01...

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すでに製造装置はアメリカ日本オランダで市場を独占しているからオランダ入れとかないとアメリカと日本が２強になるとアメリカが潰しに来る

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2011年の設立以来、世界中から集結した優秀な研究者によって物理、化学、生物学、神経科学などの先進的な科学技術研究が行なわれている日本政府の主導により創立された大学院大学
2019年6月にイギリスのシュプリンガー・ネイチャー社が発表した「質の高い論文の割合が高い研究機関ランキング」では世界9位に選出された。
これは日本国内ではトップの順位であり、東京大学の40位を大きく上回っている。

沖縄科学技術大学院大学の特徴
　科学雑誌や国際的会議で使われる英語が、大学院大学の公用語
　学生と教員の半数以上は外国人
　分野の壁を越えた共同研究や交流が推奨されている

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>>3
僻むなよｗ

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